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网站首页产品展示光学平台主动隔振光学平台系统 ◇ STACIS IIITMC光学平台主动隔振系统

TMC光学平台主动隔振系统

更新时间:2018-09-05

简要描述:

美国TMC光学平台主动隔振系统STACIS III是的主动振动消除系统。采用先进的惯性振动传感器,先进的控制算法以及先进的压电执行器,STACIS通过连续测量地面活动来实时消除振动,然后扩展和收缩压电执行器以滤除地面运动。

免费咨询:010-6202 9100

发邮件给我们:sales@nmerry.com

TMC光学平台主动隔振系统STACIS® III

STACIS初设计用于隔离先进半导体工厂中的精密微平版印刷,计量和检测设备,现在是噪声环境中敏感仪器的行业标准解决方案,包括但不限于半导体工厂,故障分析实验室,纳米技术研究,纳米制造设施和材料研究。

STACIS III包括一个新的和改进的数字控制器,DC-2020。新的双核处理器和以太网以及前后面板上的USB串行端口,这个新的先进的控制系统为用户提供了一个现代的,易于使用的图形用户界面(GUI)。通过数百个成功安装,STACIS是振动敏感度高的仪器的理想振动消除系统。

TMC光学平台主动隔振系统STACIS® III特征及优点:

  • 新改进型DC-2020数字控制器,提供易于使用的图形用户界面
  • 隔振开始于0.6赫兹,1Hz时达到40%至70%的隔离率
  • 频率2赫兹和更高时,垂直和水平隔振率大于90%
  • 降低基础设施的要求和建设成本,即使有较大外界震动设备也可正常运行
  • 有效隔振范围,0.6Hz到150Hz
  • 获得众多用户的广泛认可和肯定
  • 6向自由度硬安装设计,无需空气悬架
  • 强大的控制系统无需定期重新校准
  • point-of-use设计方案,与客户现有隔振系统无缝兼容
  • 随着外部环境改变,系统自动调节以适应不同外部震动情形
  • TMC的STACIS®技术使用压电执行器主动消振
  • 数字控制器与基于PC的图形用户界面(GUI)
  • 提高客户产品产量、质量、成品率。
  • 符合RoHS标准
  • 宽的主动隔振带宽,的低频隔振效果
  • 亚赫兹的主动震动消除,主要在0.6-6Hz频段内的隔振
  • 可堆叠式设计
  • 主动硬式安装结构、而非软式悬浮、无低频漂移、主动元件与刚性弹簧相连
  • 被动弹簧滤除了来自STACIS传感器的负载谐振,需要的调谐非常少,甚至无需调谐
  • 由于阻抗不匹配,可兼容仪器内部隔离器
  • 负载可达2000kg
  • 市场上的主动隔振系统

 

STACIS® III性能规格:

Active degrees of freedom

6

Active bandwidth

0.6 Hz - 150 Hz

Passive natural frequency

18 Hz vertical and horizontal

Effective active resonant frequency

0.5 Hz

Isolation at 1 Hz

40% - 70%

Isolation at ≥2 Hz

≥90%

Settling time after a 10 lb (4.5 kg) step input (10:1 reduction)

0.3 sec

Internal noise

<0.1 nm RMS

Operating load range per isolator

Low capacity: 400-1100 lbs (181-499 kg)
Med capacity: 900-2100 lbs (408-953 kg)
Hi capacity: 1900-4500 lbs (862-2041 kg)

Static lift capacity per isolator

9000 lbs (4090 kg)

Stiffness (1000 lb / 454 kg mass, Med capacity isolator)

40,000 lb/in. (73 x 105N/m)

Magnetic field emitted at maximum 4 in.(102 mm) from the isolator

<0.02 μG broadband RMS

 

隔离器设计,尺寸,环境和实用要求

Environmental and safety

CE and RoHS compliant

Active isolation elements

high-force piezoelectric actuators that receive signal from a high-voltage amplifier with an output of up to 800 VDC

Passive isolation element

single stiff isotropic elastomer (no compressed air supply required)

Vibration sensor elements

downward facing geophone type inertial sensors that measure floor vibration below the isolator and deliver voltage proportional to the velocity of vibration motion

Active feedback control loop

Floor vibration is measured, processed and attenuated below the spring supporting the isolated surface

Isolator dimensions (DxH)

11.75 x 12.5 x 10.8 in.
300 x 320 x 275 mm

Isolator weight

75 lb (34 kg)

Operating temperature

50° - 90° F
10° - 32° C

Storage temperature

-40° - 130° F
-40° - 55° C

Humidity (operating)

30 - 60%

System power requirements

100, 120, 230, 240 VAC
50/60 Hz AC; <600 W
CE compliant

Floor displacement

<480 μin. (12 μm) below 10 Hz

Isolator count per system

minimum of 3

Options

laminated stainless steel platforms, frames, risers, leveling devices, earthquake restraints, lifthoods

 

DC-2020 控制器规格

Dimensions (DxH)

19 x 8.5 x 1.75 in.
483 x 216 x 45 mm

Weight

6.3 lb (2.9 kg)

Processor

150/75 MHz dual core

Sampling rate

10 kHz

Analog outputs

16 channels

Analog inputs

16 channels

Status light

single LED

Front panel ports

1x serial USB 2.0
1x serial Micro-USB
1x Ethernet RJ-45
2x BNC

Rear panel ports

1x serial USB 2.0
1x Ethernet RJ-45
1x RS-232 DB-9 legacy serial for legacy STACIS 2100 isolators

User interface

Front panel LCD display
Character menu on HyperTerminal
Extended GUI for Microsoft Windows
Embedded Ethernet GUI

 

STACIS用户及应用领域:

1、微电子、半导体

  • 晶片检测
  • 显微光刻技术
  • 掩膜校准

2、科学研究、纳米技术

  • SEM、TEM
  • STEM、SPM

3、激光台

  • 生命科学、药物研发

4、工业应用

  • 精密加工

 

为什么要选择主动系统?

  • 从<1Hz开始强烈消除地面震动,气动平台在这一低频处无法起到有效的隔振
  • 提高质量、生产量
  • 更加细小特色的成像能力
  • 前沿研究
  • 比气动平台更稳定
  • 满足SEM标准地点安装参数的wei一解决方案
  • 使得新实验室及研究设备的工程造价更低

 

主动系统为何选择STACIS

  • 正中了科研者的的心声,提供了尽可能的无震环境。
  • 市场上强劲的低频隔振系统。
  • 目前所有的SEM厂商都公布了安装参数要求,其需要的震动参数需要主动隔振系统才能满足。
  • STACIS发明于1990s,经TMC进一步发展,开发和安装了数以千计的主动隔振系统,这是主动隔振控制领域的提供的可靠解决方案。

 

STACIS相比气动隔离器刚性大几百倍

稳定时间作为对扰动的响应,由于独特的串联式设计,而大大缩短,理想应用于机械制造、动态负载、激光或者光源需要安装的独立刚性台面的情况下。

 

如下优势在业内都是的

  • STACIS的主动隔振带宽为0.6Hz -150Hz
  • 6个自由度的主动震动消除,在1Hz时隔振8-10dB 
  • 从2-3Hz时,隔振可达90% (20dB) 

 

专业的环境调查

1、安装前后的环境调查,包括震动、磁场、声波

2、安装后可提供环境系统体系认证

  • 完善的环境调查服务
  • 开具专业环境报告